致使真空滅弧室壓強繼續(xù)升高的最重要的緣由是漏孔漏氣。抱負真空室的漏氣率應為零，但在實踐使用中是不可能的。在真空滅弧室的制作進程中，經過氦質譜檢漏儀能夠檢測出漏氣率大于1x10-7Torr升/秒(1Torr=133.322Pa)的商品。而經過靜置寄存能夠將漏氣率大于1x10-11Torr升/秒的商品檢出?？墒侨羰切枨笳婵諟缁∈夷艿竭_運用壽數(shù)(通常為10-20年)，那么由公式：

　　Q=V(P2-P1)/T

　　式中：Q—漏氣率(Torr升/秒);

　　V—真空滅弧室的內部容積;

　　P—真空滅弧室的內部真空壓力。

　　可算出滅弧室的答應漏氣速率只能到達10-13數(shù)量級。而氣體浸透的速率現(xiàn)已挨近這個答應值。因而1x10-11Torr?升/秒的漏氣率對滅弧室的運用壽數(shù)仍有較大影響。而一些存在制作缺點的真空滅弧室會在運轉進程中因各種因素致使漏氣加重，這更大大縮短了真空滅弧室的運用壽數(shù)。