致使真空滅弧室壓強繼續(xù)升高的最重要的緣由是漏孔漏氣。抱負(fù)真空室的漏氣率應(yīng)為零，但在實踐使用中是不可能的。在真空滅弧室的制作進(jìn)程中，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏儀能夠檢測出漏氣率大于1x10-7Torr升/秒(1Torr=133.322Pa)的商品。而經(jīng)過靜置寄存能夠?qū)⒙饴蚀笥?x10-11Torr升/秒的商品檢出?？墒侨羰切枨笳婵諟缁∈夷艿竭_(dá)運用壽數(shù)(通常為10-20年)，那么由公式：

　　Q=V(P2-P1)/T

　　式中：Q—漏氣率(Torr升/秒);

　　V—真空滅弧室的內(nèi)部容積;

　　P—真空滅弧室的內(nèi)部真空壓力。

　　可算出滅弧室的答應(yīng)漏氣速率只能到達(dá)10-13數(shù)量級。而氣體浸透的速率現(xiàn)已挨近這個答應(yīng)值。因而1x10-11Torr?升/秒的漏氣率對滅弧室的運用壽數(shù)仍有較大影響。而一些存在制作缺點的真空滅弧室會在運轉(zhuǎn)進(jìn)程中因各種因素致使漏氣加重，這更大大縮短了真空滅弧室的運用壽數(shù)。